真空壓力傳感器的工作原理是什么?

真空壓力傳感器的工作原理是基于多種原理的。

一種常見原理是“彈性變形”,即內部薄膜受到進氣道真空壓力時被壓迫變形,膜片上的金屬或碳粉電極間產生隨壓力增加而增加的電壓,用于控制燃油和空氣混合比例。

還有一種是介質壓力直接作用在傳感器膜片上,使膜片產生微位移,導致傳感器電阻變化,電子線路檢測并轉換輸出對應標準信號。

像熱陰極離子化真空傳感器,通過加熱陰極使氣體分子電離產生電子,測量電子漂移速度確定壓力,精度高、響應快,適用于廣泛真空范圍。

熱陰極電離真空傳感器通過加熱陰極使氣體分子電離形成離子云,測量離子云電流確定壓力,對氣體種類依賴小。

電容真空傳感器利用電極間電容隨壓力變化來測量,靈敏度和穩定性高。

熱導真空傳感器將熱絲暴露在真空環境,根據熱絲受氣體分子散熱影響的溫度變化推導出壓力,穩定性和長期可靠性好,適用于高真空環境。

不同應用領域對真空環境要求不同,要選擇適合的傳感器類型和規格,還需與數據采集或控制系統配合,實現對真空環境的精確監測和控制。

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