由于環(huán)保意識(shí)的提高和能源使用效率提高的呼聲高漲，如何控制汽車引擎使用溫度與效率，已成為21世紀(jì)重要的課題之一。在這方面，白金溫度傳感器正顯示出其獨(dú)特的魅力。
白金溫度傳感器(RTD)是進(jìn)行溫度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)工具。白金的阻值隨溫度變化的關(guān)系與目前市面上其它常用的溫度傳感器比較如圖1-1所示。白金在較大的溫度范圍內(nèi)其阻值變化率幾乎成線性的變化，而負(fù)溫度系數(shù)熱阻器(NTC)或正溫度系數(shù)熱阻器(PTC)則只能使用在相當(dāng)窄的溫度范圍。
白金溫度傳感器的功能規(guī)格如表1-1所列，其關(guān)鍵技術(shù)在于如何利用濺鍍技術(shù)控制白金膜的特性，包括密度、體積大小、厚度等。
除此之外，白金還具有耐腐蝕、耐高溫等優(yōu)良性質(zhì)，更是其它材料所遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及。以往白金溫度傳感器是利用繞線的方式所制成，而白金又非常昂貴，因此以往只能做溫度標(biāo)準(zhǔn)校正用。隨著薄膜技術(shù)以及IC制程技術(shù)的發(fā)展日趨成熟，白金薄膜傳感器即應(yīng)運(yùn)而生。
高溫白金薄膜傳感器是在小至2mm×5mm的芯片上利用濺鍍(sputtering)技術(shù)沉積厚度僅幾千A的白金，因此白金的用量非常少，并利用IC制程在一片基板上蝕刻出一千片以上的白金感應(yīng)芯片。由于這種技術(shù)的發(fā)展，白金薄膜傳感器的成本已逐漸降至可與一般常用的傳感器相競(jìng)爭(zhēng)，再加上其精密度可利用鐳射修整(Laser trimming)至0.1%，白金溫度傳感器已開始逐漸廣泛地投放于市場(chǎng)。
目前，白金薄膜溫度傳感器的使用溫度最高只達(dá)600℃，但由于汽車以及新一代家電市場(chǎng)對(duì)更高溫度(750℃～1000℃)測(cè)量的強(qiáng)烈需求，各白金溫度傳感器制造商無不傾注全力投入新一代高溫傳感器的研發(fā)，以取得領(lǐng)先的地位。此種產(chǎn)品用于汽車進(jìn)氣、排氣系統(tǒng)已進(jìn)入測(cè)試階段(圖1-2)。而其中不論是汽車或飛機(jī)噴射器上的進(jìn)氣、排氣系統(tǒng)，在如此高溫且惡劣的環(huán)境下，如何精確地測(cè)量溫度是最難卻是最重要的。發(fā)展高溫白金薄膜溫度傳感器所具有的耐高溫、耐腐蝕且不昂貴的優(yōu)點(diǎn)，將使其重要性日趨明顯。
