還原爐底盤有哪些故障現(xiàn)象
還原爐底盤可能出現(xiàn)的故障現(xiàn)象有以下幾種:
1. 底盤漏水:
- 如果是水,可能是電極密封有問題;如果是底盤本身漏水,那底盤可能穿了;如果是底盤漏氯硅烷,可能是底盤與鐘罩沒有密封好。
2. 底座電極四氟護(hù)套損壞:
- 夏天天氣潮濕、高溫,容易被擊穿;電極冷卻水溫度高或集流排分配不均勻;四氟等級(jí)不夠,造成拉弧嚴(yán)重;底盤冷卻水量不暢通;新?lián)Q的四氟套打壓就出問題可能是四氟材料問題,用過一段時(shí)間才出問題多半是冷卻水的問題;安裝不符合要求,四氟套超過底盤。
3. 運(yùn)行四五十個(gè)小時(shí)后經(jīng)常出現(xiàn)接地故障:
- 可能是打開鐘罩后真的接地故障(倒棒);電極和底座的絕緣不過關(guān),比如石英環(huán)內(nèi)附著導(dǎo)電類生成物;硅芯底部磨錐不好,與石墨嘴接觸不好,前期通混合氣加電流時(shí)底部石墨嘴處容易燒流附在底座上,后期電流加大電磁場(chǎng)增大,容易與底盤形成電磁感應(yīng),或者在底座上形成無定形硅,產(chǎn)生與底盤的電感應(yīng);絕緣不好引起瞬間接地;電氣調(diào)控柜故障或誤判。
要解決這些問題,對(duì)于底盤漏水,需要檢查密封部件、底盤狀況,及時(shí)更換損壞部件。對(duì)于底座電極四氟護(hù)套損壞,要檢查電極冷卻水的溫度和流量,選擇合適等級(jí)的四氟套,確保安裝正確。對(duì)于接地故障,要仔細(xì)確定是否真的接地,檢查絕緣情況和硅芯狀況,排查電氣調(diào)控柜的問題。
(圖/文/攝:太平洋汽車 整理于互聯(lián)網(wǎng))
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